Bezeichnet einen natürlich ablaufenden physikalischen Prozess, bei dem Wasserdampf durch einen Baustoff dringt. Sie wird im Volksmund fälschlicherweise als "Atmungsaktivität" von Bauteilen bezeichnet. Die Dampfdiffusionsdurchlässigkeit einzelner Bauteilschichten soll so aufeinander abgestimmt sein, dass keine Durchfeuchtung stattfindet.

Für übliche Wandkonstruktionen aus Kalksandstein mit Wärmedämmung ist gemäß DIN 4108-3 kein rechnerischer Nachweis des Tauwasserausfalls infolge Dampfdiffusion erforderlich, da hier kein Tauwasserrisiko besteht.